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真空兼容电控台

专为超高真空环境研发的高精度电控位移台,可在真空度高达 10-5Pa 的条件下长期稳定工作。

真空兼容电控台

♦ 产品介绍

GCV-DT-xxxM 系列是大恒光电专为超高真空环境研发的高精度电控位移台,可在真空度高达 10-5Pa 的条件下长期稳定工作。系列提供 50mm、100mm、150mm 三种行程,对应型号分别为 GCV-DT-050M、GCV-DT-100M 和 GCV-DT-150M,用户可根据实际需要进行选择。

GCV-DT-050M GCV-DT-100M GCV-DT-150M

      

GCV-DV-015M是大恒光电专为超高真空环境研发的高精度电控升降台,能够在真空度高达10-5Pa的条件下实现长期稳定运行。

GCV-DV-015M升降台

   

这两系列产品适用于半导体加工、真空镀膜、同步辐射、空间模拟等需要在高真空或超高真空环境中进行精密定位的场合。建议配合大恒光电控制器使用(见文末),可实现更优的运动控制精度与真空环境适配性。

♦  产品特点

• 产品主体采用不锈钢材料,兼顾结构刚度并有效降低出气率,保障腔体内真空稳定性,满足真空环境的特殊要求;

• 驱动部分采用真空适配型步进电机,解决真空环境下散热难题,确保电机不过热、不失效;

• 配合高精密滚珠丝杠与直线导轨,确保在真空环境中实现高精度、低抖动的平稳运动;

• 所有型号均采用紧凑型设计,台面尺寸80×80mm,整体厚度45mm;

• GCV-DV升降台电机带断电抱闸功能,可确保升降台在掉电后位置精确保持。

♦  参数规格

GCV-DT真空电控位移台

GCV-DV真空电控升降台

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该产品搭配大恒光电GCD-03系列步进电机控制器及配套软件,可达到更优精度。

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